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山武 小型CO2センサ開発 従来品比体積20分の1

2002.03.25 16:42

 山武では、超小型音響式CO2センサ「マイクロパスCO2センサ」を開発した。
 近年日本でも環境問題への取り組みが頻繁に行われているが、その現状調査としての、環境モニタリングの「センサの小型化」、「低消費電力化」を狙ったものである。
 「マイクロパスCO2センサ」はセンサ部の大きさ約7×7×12㎜で、赤外線光源、音響セル、マイクロホンで構成されている。赤外線光源の大きさは3mm角、マイクロホンは、6・5mm角でいずれもシリコンウエハを加工して製作している。従来の音響式CO2センサのセンサ部体積比で約1/20を実現した。今後実用化に向けて低コスト化に取り組む予定である。同社では、2003年の実用化を目指し、2006年には光音響式センサ関連製品の売上はビルディング・オートメーション分野と環境事業を中心に約12億円の売上を見込んでいる。




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