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山武　小型ＣＯ２センサ開発　従来品比体積２０分の１

2002.03.25 16:42

　山武では、超小型音響式ＣＯ２センサ「マイクロパスＣＯ２センサ」を開発した。
　近年日本でも環境問題への取り組みが頻繁に行われているが、その現状調査としての、環境モニタリングの「センサの小型化」、「低消費電力化」を狙ったものである。
　「マイクロパスＣＯ２センサ」はセンサ部の大きさ約７×７×１２㎜で、赤外線光源、音響セル、マイクロホンで構成されている。赤外線光源の大きさは３ｍｍ角、マイクロホンは、６・５ｍｍ角でいずれもシリコンウエハを加工して製作している。従来の音響式ＣＯ２センサのセンサ部体積比で約１／２０を実現した。今後実用化に向けて低コスト化に取り組む予定である。同社では、２００３年の実用化を目指し、２００６年には光音響式センサ関連製品の売上はビルディング・オートメーション分野と環境事業を中心に約１２億円の売上を見込んでいる。